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安华公司德国慕尼黑研发中心张东风博士做客智能所创新论坛
  文章来源:合肥物质科学研究院 发布时间:2013-10-14 【字号: 小  中  大   

  109日,应合肥智能机械研究所仿生感知与控制研究中心主任孔德义研究员的邀请,安华高科技公司德国慕尼黑研发中心(Avago Technologies, R&D Center, Munich, Germany)张东风博士做客智能所创新论坛,并作了题为MEMS技术在纳米力学和无线通讯方面的应用的学术报告。   

  张东风的报告分两部分进行:第一部分介绍了MEMS技术在微纳尺度上的材料拉伸特性的研究。微长度量和微力的准确测量是技术难点。他介绍了两种基于MEMS技术的设计方案,并对重要技术难点的特殊处理和工艺进行了详细阐述。第二部分介绍了MEMS技术在无线通讯领域的应用。现在高端手机上均装配了大量的MEMS器件,其中FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)滤波器就是其中重要的一类。安华高科技公司采用BAW(Bulk Surface Acoustic Wave)技术制作的FBAR滤波器在市场上占有率高达60%。他介绍了BAW技术与SAW(Surface Acoustic Wave)技术的区别,并就FBAR器件设计与制造过程中的要点难点进行了详细阐述。整场报告持续了两个小时,张东风精彩的报告引起了在场科研人员的广泛兴趣,他们就各自感兴趣的内容与张东风进行了深入交流。 

  张东风,2003-2006年在合肥智能机械研究所攻读硕士学位;2006-2010年在瑞士洛桑联邦理工学院(EPFL)微纳技术研究所攻读博士学位;2010-2012作为Research Fellow在德国Max-Planck研究所从事微流体方面的研究工作。现就职于安华高科技公司德国慕尼黑研发中心(Avago Technologies,R&D Center, Munich, Germany),任研发工程师,从事MEMS通讯器件的研发工作。主要研究方向包括:基于MEMS的微纳米材料测试系统,电子显微镜微操纵,基于微流体技术的超快温控,薄膜体声学波谐振器及滤波器件。

活动现场

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